薄膜厚度测量仪以F20平台为基础所发展的F10-HC薄膜测量系统，能够快速的分析薄膜的反射光谱资料并提供测量厚度，加上F10-HC软件的模拟演算法设计，能够在厚膜中测量单层与多层(例如：底漆或硬涂层等)。

TranSpec Micro薄膜厚度测量新的光纤耦合TranSpec Micro薄膜厚度显微镜可以将薄膜厚度测量点的大小降到50-100um。测量点的图像可通过装在显微镜上的特殊彩色相机实时查看。TranSpec Micro薄膜厚度测量仪和我们TranSpec和TranSpec Lite仪器一样采用白光干涉原理。为了测量非常小的点，TranSpec Micro使用装有实时显示相机的光纤耦合显微镜。